Electronics Pick-up by Akira Fukuda

日本で2番目に(?)半導体技術に詳しいライターのブログ

コラム「デバイス通信」を更新。「自己組織化単分子(SAM)膜を使った選択成長プロセス」

EETimes Japan様から頂いておりますコラム「デバイス通信」を更新しました。シリーズ「オンチップ多層配線技術」の第16回です。


eetimes.jp


前回に続き、SAM膜を使った選択成長技術の説明です。
実際に選択成長させた絶縁膜と配線の断面観察像が出ています。


お手すきのときにでも、記事をお読みいただけるとうれしいです。