コラム「デバイス通信」を更新。「自己組織化単分子（SAM）膜を使った選択成長プロセス」

EETimes Japan様から頂いておりますコラム「デバイス通信」を更新しました。シリーズ「オンチップ多層配線技術」の第16回です。

eetimes.jp

前回に続き、SAM膜を使った選択成長技術の説明です。
実際に選択成長させた絶縁膜と配線の断面観察像が出ています。

お手すきのときにでも、記事をお読みいただけるとうれしいです。