2021-01-13から1日間の記事一覧
EETimes Japan様から頂いておりますコラム「デバイス通信」を更新しました。シリーズ「オンチップ多層配線技術」の第16回です。 eetimes.jp 前回に続き、SAM膜を使った選択成長技術の説明です。 実際に選択成長させた絶縁膜と配線の断面観察像が出ています。…
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EETimes Japan様から頂いておりますコラム「デバイス通信」を更新しました。シリーズ「オンチップ多層配線技術」の第16回です。 eetimes.jp 前回に続き、SAM膜を使った選択成長技術の説明です。 実際に選択成長させた絶縁膜と配線の断面観察像が出ています。…