EETimes Japan様から頂いておりますコラム「デバイス通信」を更新しました。シリーズ「オンチップ多層配線技術」の第13回です。 eetimes.jp 自己組織化リソグラフィ（DSAリソグラフィ）による平行配線パターン形成の工程を説明しています。ArF液浸リソグラフ…