コラム「デバイス通信」を更新。「自己組織化リソグラフィによる微細な配線パターンの形成」

EETimes Japan様から頂いておりますコラム「デバイス通信」を更新しました。シリーズ「オンチップ多層配線技術」の第13回です。

eetimes.jp

自己組織化リソグラフィ（DSAリソグラフィ）による平行配線パターン形成の工程を説明しています。

ArF液浸リソグラフィよりも、はるかに微細なパターンを作れています。

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