Electronics Pick-up by Akira Fukuda

日本で2番目に(?)半導体技術に詳しいライターのブログ

コラム「デバイス通信」を更新。「自己組織化リソグラフィによる微細な配線パターンの形成」

EETimes Japan様から頂いておりますコラム「デバイス通信」を更新しました。シリーズ「オンチップ多層配線技術」の第13回です。


eetimes.jp


自己組織化リソグラフィ(DSAリソグラフィ)による平行配線パターン形成の工程を説明しています。

ArF液浸リソグラフィよりも、はるかに微細なパターンを作れています。


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