Electronics Pick-up by Akira Fukuda

日本で2番目に(?)半導体技術に詳しいライターのブログ

2020-12-18から1日間の記事一覧

コラム「デバイス通信」を更新。「露光技術の微細化限界を突破する自己組織化技術」

EETimes Japan様から頂いておりますコラム「デバイス通信」を更新しました。シリーズ「オンチップ多層配線技術」の第12回です。 eetimes.jp 今回から次世代リソグラフィ技術の1つである「自己組織化リソグラフィ」のパートを説明していきます。 「誘導自己組…