Electronics Pick-up by Akira Fukuda

日本で2番目に(?)半導体技術に詳しいライターのブログ

2020-12-25から1日間の記事一覧

コラム「デバイス通信」を更新。「EUVリソグラフィを補完する自己組織化リソグラフィ」

EETimes Japan様から頂いておりますコラム「デバイス通信」を更新しました。シリーズ「オンチップ多層配線技術」の第14回です。 eetimes.jp EUVリソグラフィと自己組織化リソグラフィ(DSAリソグラフィ)を組み合わせると、 回路パターンの線幅とエッジの寸…