2020-12-25から1日間の記事一覧
EETimes Japan様から頂いておりますコラム「デバイス通信」を更新しました。シリーズ「オンチップ多層配線技術」の第14回です。 eetimes.jp EUVリソグラフィと自己組織化リソグラフィ(DSAリソグラフィ)を組み合わせると、 回路パターンの線幅とエッジの寸…
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EETimes Japan様から頂いておりますコラム「デバイス通信」を更新しました。シリーズ「オンチップ多層配線技術」の第14回です。 eetimes.jp EUVリソグラフィと自己組織化リソグラフィ(DSAリソグラフィ)を組み合わせると、 回路パターンの線幅とエッジの寸…