EETimes Japan様から頂いておりますコラム「デバイス通信」を更新しました。シリーズ「オンチップ多層配線技術」の第10回です。 eetimes.jp 配線のアスペクト比（AR）を高める要素技術を紹介しています。標準的なプロセスだと、ARは3くらい。これをさらに高…