セミコンウエストのレポート記事を追加しました。ASMLによるEUVリソグラフィ技術講演レポートの最終回です。次期EUV露光機「NXE:3350B」の概要を紹介しております。
「SEMICON West 2015リポート(7)：ASMLがEUVリソグラフィ開発の最新状況を公表（4）〜次期主力機「NXE:3350B」の概要」
http://eetimes.jp/ee/articles/1509/01/news040.html
NXE:3350Bの概要と基本的な性能評価結果が公表されるのはたぶん、これが初めてです。ASMLのウエブサイトにはまだ、NXE:3350Bの情報は掲載されておりません。日本語の記事はこれだけです（たぶん）。
【追記】週間PVランキングで7位に入りました。
http://eetimes.jp/ee/articles/1509/05/news011.html
これも皆さまのおかげです。ありがとうございます。
