Electronics Pick-up by Akira Fukuda

日本で2番目に(?)半導体技術に詳しいライターのブログ

セミコンウエストのレポート記事、ASMLの次期EUV露光機の概要

セミコンウエストのレポート記事を追加しました。ASMLによるEUVリソグラフィ技術講演レポートの最終回です。次期EUV露光機「NXE:3350B」の概要を紹介しております。


「SEMICON West 2015リポート(7):ASMLがEUVリソグラフィ開発の最新状況を公表(4)〜次期主力機「NXE:3350B」の概要」
http://eetimes.jp/ee/articles/1509/01/news040.html


NXE:3350Bの概要と基本的な性能評価結果が公表されるのはたぶん、これが初めてです。ASMLのウエブサイトにはまだ、NXE:3350Bの情報は掲載されておりません。日本語の記事はこれだけです(たぶん)。


【追記】週間PVランキングで7位に入りました。
http://eetimes.jp/ee/articles/1509/05/news011.html
これも皆さまのおかげです。ありがとうございます。