Electronics Pick-up by Akira Fukuda

日本で2番目に(?)半導体技術に詳しいライターのブログ

2015-09-01から1日間の記事一覧

セミコンウエストのレポート記事、ASMLの次期EUV露光機の概要

セミコンウエストのレポート記事を追加しました。ASMLによるEUVリソグラフィ技術講演レポートの最終回です。次期EUV露光機「NXE:3350B」の概要を紹介しております。 「SEMICON West 2015リポート(7):ASMLがEUVリソグラフィ開発の最新状況を公表(4)〜次期…