Electronics Pick-up by Akira Fukuda

日本で2番目に(?)半導体技術に詳しいライターのブログ

コラム「デバイス通信」を更新しました。7nm以降のリソグラフィ技術「JSR Micro」編です

EETimes Japan様から頂いておりますコラム「デバイス通信」を更新しました。


「デバイス通信(89):「SEMICON West 2016」、7nm世代以降のリソグラフィ技術(JSR Micro編)」
http://eetimes.jp/ee/articles/1609/21/news029.html


レジスト大手のJSR MicroがEUVリソグラフィ向けを中心に、7nm世代以降の展望を述べたものです。EUVリソグラフィは、光リソグラフィとは光源の波長がまったく違います。レジストも新たに設計しなければなりません。それでもハーフピッチで13nmと、かなり微細なラインアンドスペースを解像できています。