EETimes Japan様から頂いておりますコラム「デバイス通信」を更新しました。
「デバイス通信（89）：「SEMICON West 2016」、7nm世代以降のリソグラフィ技術（JSR Micro編）」
http://eetimes.jp/ee/articles/1609/21/news029.html
レジスト大手のJSR MicroがEUVリソグラフィ向けを中心に、7nm世代以降の展望を述べたものです。EUVリソグラフィは、光リソグラフィとは光源の波長がまったく違います。レジストも新たに設計しなければなりません。それでもハーフピッチで13nmと、かなり微細なラインアンドスペースを解像できています。
