Electronics Pick-up by Akira Fukuda

日本で2番目に(?)半導体技術に詳しいライターのブログ

セミコンウエストのレポート記事、キヤノンのナノインプリント・リソグラフィの続き(解像度と位置合わせ)

まだまだ続いております。セミコンウエストのレポート記事をEETimes Japan誌に掲載していただきました。

キヤノンが開発中のナノインプリント・リソグラフィ技術に関する講演のレポートです。今回は第2回となります。


「ナノインプリント開発の進展状況をキヤノンが講演(2)〜解像度と位置合わせ、生産性」
http://eetimes.jp/ee/articles/1509/08/news037.html

ナノインプリントで解像した結果の写真や位置合わせの精度などについて報告しております。


お手すきのときにでも、眺めていただけるとうれしいです。