EETimes Japan誌に掲載していただいておりますコラムの続きです。ナノインプリント・リソグラフィ技術に関する講演レポートの第3回となります。
「SEMICON West 2015リポート(10)：ナノインプリント開発の進展状況をキヤノンが講演（3）〜生産性と欠陥密度」
http://eetimes.jp/ee/articles/1509/10/news030.html
生産性を上げることと欠陥密度を下がることは二律背反となります。ふつうは生産性を上げると欠陥密度が上がってしまう。欠陥密度を下げるためには、生産性を低くするのが確実です。2つを高いレベルで均衡させるのが、技術開発の努力とその継続です。
お手すきのときにも、眺めていただけると嬉しいです。
