Electronics Pick-up by Akira Fukuda

日本で2番目に(?)半導体技術に詳しいライターのブログ

セミコンウエストのレポートを追加「ASMLのリソグラフィ開発第2回」

EETimes Japan誌に掲載しておりますSEMICON West(セミコンウエスト)レポートをを追加しました。ASMLのリソグラフィ開発に関する講演の第2回です。今回はEUV露光装置の開発をふりかえっております。



「SEMICON West 2015リポート(5):ASMLがEUVリソグラフィ開発の最新状況を公表(2)〜開発の進ちょく状況」
http://eetimes.jp/ee/articles/1508/26/news035.html


お手すきのときにでも、お読みいただければ幸いです。