Electronics Pick-up by Akira Fukuda

日本で2番目に(?)半導体技術に詳しいライターのブログ

キヤノンのインプリント・リソグラフィ技術の連載、最終回です

EETimes Japan誌で連載しておりますSemicon Westリポート。キヤノンのナノインプリント・リソグラフィに関する講演レポートの最終回です。今回はインプリント装置の開発ロードマップを掲載しております。


「ナノインプリント開発の進展状況をキヤノンが講演(5)〜インプリント装置の開発ロードマップ」
http://eetimes.jp/ee/articles/1509/18/news069.html



お手すきのときでも、眺めていただけるとうれしいです。