EETimes Japan様から頂いておりますコラム「ストレージ通信」を更新しました。
メモリセルの制御ゲートをワード線に引き出すステアケース (1/2) - EE Times Japan
3D NANDフラッシュメモリの製造で重要なキープロセスの1つ、ステアケースを解説しております。
ステアケースとは文字通り、階段状の構造のことで、垂直に積み重ねたメモリセルの制御ゲートを、ワード線へと引き出す役目を負っております。
その作り方を解説しています。
例えば32ペアのペア薄膜ですと、32段を超える階段状の構造を作る必要があります。普通に作ろうとすると、ものすごく手間がかかります。
その手間を省くための工夫があります。
お手すきのときでも、眺めていただけるとうれしいです。
