Electronics Pick-up by Akira Fukuda

日本で2番目に(?)半導体技術に詳しいライターのブログ

コラム「ストレージ通信」を更新。埋め込みMRAMセルの製造プロセス

EETimes Japan様から頂いておりますコラム「ストレージ通信」を更新しました。

eetimes.jp

埋め込みMRAMのメモリセルと製造プロセス (1/2) - EE Times Japan


単体MRAMのメモリセルと、埋め込みMRAMのメモリセルでは、構造に違いがあります。
記憶素子である磁気トンネル接合(MTJ)のレイアウトです。
埋め込みMRAMではCMOSロジックの製造プロセスと互換性を維持するため、配線工程の途中でMTJを作り込みます。

記事では実際のプロセスフローを説明しております。


おてすきのときにでも、眺めていただけるとうれしいです。