Electronics Pick-up by Akira Fukuda

日本で2番目に(?)半導体技術に詳しいライターのブログ

Microlithographyその3

引き続きSPIE Microlithographyからの記事です。


・Microlithography 2006 - ArF液浸の延命には高屈折率レンズの開発が必須
http://pcweb.mycom.co.jp/articles/2006/02/24/ml1/



・Microlithography 2006 - MIT、光で22nmのパターンを解像
http://pcweb.mycom.co.jp/articles/2006/02/24/ml2/



宿泊先を引っ越しました。チェックアウトで「アラカワのゴールドメダルおめでとう」と言ってきたので「ありがとう」と返したら「オレはミシェルクワンに賭けてたんだけどな」(笑)。