Electronics Pick-up by Akira Fukuda

日本で2番目に(?)半導体技術に詳しいライターのブログ

Microlithographyその2

KrFレーザーとArFレーザーの大手ベンダーであるCymer(サイマー)の担当者にインタビューできました。末尾におまけでPhilipsが開発中のEUV光源にもふれています。


光源開発の現状をCymerに聞く
http://pcweb.mycom.co.jp/articles/2006/02/23/ml1/



Cymerからはプレスキットを貰えたので、ようやくまともに画像の入った記事となっています。技術講演が撮影禁止なのは予想済みだったのですが、展示会のブースでも撮影交渉がことごとく断られる始末。仕掛けの少ない記事ばかりで寂しいです。