KrFレーザーとArFレーザーの大手ベンダーであるCymer（サイマー）の担当者にインタビューできました。末尾におまけでPhilipsが開発中のEUV光源にもふれています。 光源開発の現状をCymerに聞く http://pcweb.mycom.co.jp/articles/2006/02/23/ml1/ Cymerから…