EETimes Japan様から頂いておりますコラム「デバイス通信」を更新しました。シリーズ「オンチップ多層配線技術」の第9回です。
多層配線のアスペクト比(AR)と抵抗および容量の関係を論じています。
ARが一定だと、抵抗と容量はトレードオフになります。抵抗を減らすと容量が増えます。
ARを大きくすると、抵抗と容量は減少します。特に抵抗の減少が大きいです。
詳しくは記事をながめていただけるとうれしいです。
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多層配線のアスペクト比(AR)と抵抗および容量の関係を論じています。
ARが一定だと、抵抗と容量はトレードオフになります。抵抗を減らすと容量が増えます。
ARを大きくすると、抵抗と容量は減少します。特に抵抗の減少が大きいです。
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