EETimes Japan様から頂いておりますコラム「デバイス通信」を更新しました。新シリーズ「オンチップ多層配線技術」の第4回です。
銅(Cu)配線の寸法と静電容量の関係を説明しております。
すべての寸法を比例縮小すると、静電容量の値は変わらない。ここが重要です。
しかし、実際には電気抵抗の問題があって配線の高さを比例縮小できない。このため、静電容量が増えてしまう。
後半では銅以外の配線金属についてもふれております。
詳しくは記事をお読みいただけるとうれしいです。
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銅(Cu)配線の寸法と静電容量の関係を説明しております。
すべての寸法を比例縮小すると、静電容量の値は変わらない。ここが重要です。
しかし、実際には電気抵抗の問題があって配線の高さを比例縮小できない。このため、静電容量が増えてしまう。
後半では銅以外の配線金属についてもふれております。
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