EETimes Japan様から頂いておりますコラム「デバイス通信」を更新しました。
新シリーズ「 imecが語る3nm以降のCMOS技術」の第13回となります。
次々世代のトランジスタ技術「CFET」の構造をまず説明しています。それから、作り方(製造方法)として、モノリシックとシーケンシャルの2通りの方法があることと、それぞれの概要を述べております。
詳しくは記事をお読みいただけるとうれしいです。
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