EETimes Japan様から頂いておりますコラム「ストレージ通信」を更新しました。
埋め込みMRAMの磁気トンネル接合(MTJ)に要求される条件 (1/2) - EE Times Japan
埋め込みMRAMの記憶素子である、磁気トンネル接合(MTJ)対する要求をまとめております。
多層配線プロセスの高温処理を経ても、特性が劣化しないというのが要項です。
400℃で1時間程度の熱処理が目安です。
維持すべき特性は、トンネル磁気抵抗(TMR)比と保磁力(Hc)の2つとなります。
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