PC Watch様から頂いておりますコラム「セミコン業界最前線」を追加更新しました。
【福田昭のセミコン業界最前線】完成に近づいた、SamsungのEUVリソグラフィ採用7nm半導体量産技術 - PC Watch
Samsung Electronicsが開発中のEUVリソグラフィを使った7nm世代の半導体技術に関するレポートです。
国際学会VLSIシンポジウムでの発表をコアに、関連情報をクラッドとしてくっつけた解説記事となっております。
比較表の作成に無駄に時間をとってしまいました。本文テキストがその分、短くなっています（苦笑）。お許しを。
それはともかく、前回のVLSIシンポジウムでSamsungは、初めてEUV採用7nm製造技術の発表をしたのですよ。
ところがそのときは、定量的な数字がほとんどなかったのです。あまりのことに、呆然としました。
そのときにブログに書いたエントリーがこちらです。
でもってですね。今回のVLSIシンポジウムでは、数字をバンバン出してきました。様変わりです。
ただ、過去の学会発表を見ていきますと。Samsungはそもそも、ロジック半導体の製造プロセスについては国際学会で発表してこなかったようなんです。14nmプロセスは、国際学会での発表がみつからなかった。製造技術ではIBM連合の一員なので、IBMに発表をまかせていたような気もします。
それが最近になって国際学会で半導体プロセス技術を発表するようになってきた。Samsungがシリコンファウンダリ事業にチカラを入れているのと、関係がありそうです。
脱線しました（爆）。
お手すきのときにでも、記事を眺めていただけるとうれしいです。リキ入ってますので。特に表組みが。
