PC Watch様から頂いておりますコラム「セミコン業界最前線」を更新しました。
EUVリソグラフィ技術が、ついに半導体の量産に導入され始めました。
7nm世代の最先端ロジックと、16nm世代の最先端DRAMに導入されます。
最先端ロジックではSamsungが生産を10月から始めました。TSMCは来年(2019年)第2四半期の生産開始を計画しております。
最先端DRAMではSK-HynixがEUVリソグラフィ技術を量産に導入するもようです。
導入の背景には、今年(2018年)前半に技術開発が大きく前進したことがあります。
このあたりを解説しております。
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