オンライン電子技術誌EETimes Japanに連載中のコラム「デバイス通信」を更新しました。
「「SEMICON West 2016」、半導体露光技術の進化を振り返る（完結編その1）」
http://eetimes.jp/ee/articles/1608/23/news039.html
完結しませんでした（爆）。まだKrFステッパとKrFスキャナのところです（恥）。ステッパからスキャナへと露光装置の構造が変化したのは、非常に大きなできごとです。
次回はArFスキャナとなるはずですが、ArFスキャナは当初、野球で言えば「ワンポイントリリーフ」として登板するはずだったんですよね。それがまさかこんなことになる（？）とは。予想外のことが起こるのが、技術開発の面白いところだとも言えます。
