Electronics Pick-up by Akira Fukuda

日本で2番目に(?)半導体技術に詳しいライターのブログ

コラム「デバイス通信」を更新。「半導体露光技術の歴史(完結編その1」です。

オンライン電子技術誌EETimes Japanに連載中のコラム「デバイス通信」を更新しました。


「「SEMICON West 2016」、半導体露光技術の進化を振り返る(完結編その1)」
http://eetimes.jp/ee/articles/1608/23/news039.html


完結しませんでした(爆)。まだKrFステッパとKrFスキャナのところです(恥)。ステッパからスキャナへと露光装置の構造が変化したのは、非常に大きなできごとです。


次回はArFスキャナとなるはずですが、ArFスキャナは当初、野球で言えば「ワンポイントリリーフ」として登板するはずだったんですよね。それがまさかこんなことになる(?)とは。予想外のことが起こるのが、技術開発の面白いところだとも言えます。