EETimes Japan誌で連載しておりますコラム「デバイス通信」を更新しました。前回に続き、リソグラフィ技術の歴史を解説しております。 「「SEMICON West 2016」、半導体露光技術の進化を振り返る（中編）」 http://eetimes.jp/ee/articles/1608/12/news031.h…