EETimes Japan様から頂いておりますコラム「ストレージ通信」を更新しました。
不揮発性DRAMの解説後編です。
前編ではプレーナキャパシタを取り上げました。後編では、製品DRAMに採用されている3次元構造のキャパシタを取り上げております。DRAM製品の製造プロセスで二酸化ジルコニウムの反強誘電体キャパシタを試作して評価した結果です。不揮発性メモリとして機能することや、長期信頼性（書き換えサイクルとデータ保持期間）の基本データなどをご紹介しております。
お手すきのときにでも、記事を眺めていただけるとうれしいです。
