EETimes Japan様から頂いておりますコラム「デバイス通信」を久々に更新しました。
新シリーズ「 imecが語る3nm以降のCMOS技術」を始めます。
参考資料はIEDM2020のチュートリアル講演です。
次世代や次々世代などのロジックを中心に、
将来の半導体製造技術の研究開発ではimecが重要な役割を担うようになりました。
IEDMやVLSI技術シンポジウムなどの国際学会では毎回、数多くの研究成果を発表しています。
その一端を知るシリーズとなる予定です。
お手すきのときにでも、記事を眺めていただけるとうれしいです。
