2021-09-27から1日間の記事一覧

コラム「デバイス通信」を更新。「2層上下の配線層をダイレクトに接続する「スーパービア」の課題（後編）」

EETimes Japan様から頂いておりますコラム「デバイス通信」を更新しました。シリーズ「 imecが語る3nm以降のCMOS技術」の第27回となります。第21回以降は、3nm以降のCMOSロジックに対応した多層配線技術を解説しています。2層離れた配線層（例えばM1とM3）…