IEDM2009レポート「EUV露光技術で22nm世代のSRAMセルを試作」

IEDM2009レポートの続編をマイコミジャーナル様に掲載していただきました。

「IEDM 2009 - IMEC、EUV露光技術を改良して22nm世代のSRAMセルを試作」
http://journal.mycom.co.jp/articles/2009/12/14/iedm2009_euv/index.html
次世代露光技術であるEUV露光でSRAMセルを試作した結果の報告です。

お手すきのときにでも閲覧いただければうれしいです。