Electronics Pick-up by Akira Fukuda

日本で2番目に(?)半導体技術に詳しいライターのブログ

2009-12-14から1日間の記事一覧

IEDM2009レポート「EUV露光技術で22nm世代のSRAMセルを試作」

IEDM2009レポートの続編をマイコミジャーナル様に掲載していただきました。 「IEDM 2009 - IMEC、EUV露光技術を改良して22nm世代のSRAMセルを試作」 http://journal.mycom.co.jp/articles/2009/12/14/iedm2009_euv/index.html 次世代露光技術であるEUV露光で…