マイコミジャーナルに掲載していただきました。 たぶんこれがIEDM2009からは最後のレポートです。 「世界最小のSRAMセルを台湾ナノデバイス研が試作」 http://journal.mycom.co.jp/articles/2010/01/25/iedm2009_sram/index.html 気相成長反応を電子ビームア…