EETimes Japan様から頂いておりますコラム「デバイス通信」を更新しました。
新シリーズ「 imecが語る3nm以降のCMOS技術」の第16回となります。
前回に続いてシーケンシャルCFETの製造プロセスを扱っています。
今回はトップ側の製造プロセスにおける温度条件(最高で550℃が望ましい)がテーマです。
トップ側のプロセス温度が高いと、ボトム側のデバイスが劣化してしまう。これを防ぐためにプロセス温度を下げなければならない。
詳しくは記事をお読みいただけるとうれしいです。
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EETimes Japan様から頂いておりますコラム「デバイス通信」を更新しました。
新シリーズ「 imecが語る3nm以降のCMOS技術」の第16回となります。
前回に続いてシーケンシャルCFETの製造プロセスを扱っています。
今回はトップ側の製造プロセスにおける温度条件(最高で550℃が望ましい)がテーマです。
トップ側のプロセス温度が高いと、ボトム側のデバイスが劣化してしまう。これを防ぐためにプロセス温度を下げなければならない。
詳しくは記事をお読みいただけるとうれしいです。
EETimes Japan様から頂いておりますコラム「デバイス通信」を更新しました。
新シリーズ「 imecが語る3nm以降のCMOS技術」の第15回となります。
コンプリメンタリFET(CFET)の製造プロセスの続きです。
シーケンシャルCFETの課題(ウエハー貼り合わせ界面における欠陥の発生)を扱っております。
お手すきのときにでも、記事を眺めていただけるとうれしいです。
PC Watch様から頂いておりますコラム「セミコン業界最前線」を更新しました。
ここのところ、新しいコラムを開発しておりまして。コラム開発の膨大な時間がかかってしまい、「セミコン業界・・・」の記事に取りかかれずにおりました。
3D NANDフラッシュメモリの高密度化を支える重要な技術「多値記憶」の新たなブレークスルーです。
5bit/セルが製品化していない段階であるにもかかわらず、キオクシアが6bit/セルの動作に成功しました。
といってもこれには仕掛けがあるのですが。
詳しくは記事をお読みいただけると、うれしいです。
EETimes Japan様から頂いておりますコラム「デバイス通信」を更新しました。
新シリーズ「 imecが語る3nm以降のCMOS技術」の第14回となります。
CFETの製造プロセスを扱っております。最初はモノリシック構造です。
お手すきのときにでも、記事をおよみいただけるとうれしいです。