PC Watch様から頂いておりますコラム「セミコン業界最前線」を更新しました。
【福田昭のセミコン業界最前線】微細化に頼らずに大容量化を進める次世代DRAM技術 - PC Watch
国際学会IEDMから、DRAMの技術動向に関する解説記事です。
DRAMは現在、加工寸法をほとんど短くできなくなっています。微細化はほぼ限界です。
そこで加工寸法の短縮に頼らずに、記憶密度を向上する技術がいくつか開発されております。
その状況をまとめました。
要素技術としてはセルトランジスタとセルキャパシタ、セルレイアウトについて論じております。
皆さまのお役に立てればありがたいです。