Electronics Pick-up by Akira Fukuda

日本で2番目に(?)半導体技術に詳しいライターのブログ

コラム「デバイス通信」を更新。「ナノシート構造を超える高い密度を実現するフォークシート構造」

EETimes Japan様から頂いておりますコラム「デバイス通信」を更新しました。

新シリーズ「 imecが語る3nm以降のCMOS技術」の第7回となります。


eetimes.itmedia.co.jp


FinFET(フィンフェット)の次はナノワイヤ構造、あるいはナノシート構造のチャンネルを備えたトランジスタが候補でした。最近ではナノワイヤよりもナノシートが有利だとの意見が主流となっています。

さらにimecは、ナノシート構造でも微細化には課題があるとしてフォークシート構造を提案して試作してきました。

詳しくは記事をお読みいただけるとうれしいです。