EETimes Japan様から頂いておりますコラム「デバイス通信」を更新しました。
新シリーズ「 imecが語る3nm以降のCMOS技術」の第7回となります。
FinFET（フィンフェット）の次はナノワイヤ構造、あるいはナノシート構造のチャンネルを備えたトランジスタが候補でした。最近ではナノワイヤよりもナノシートが有利だとの意見が主流となっています。
さらにimecは、ナノシート構造でも微細化には課題があるとしてフォークシート構造を提案して試作してきました。
詳しくは記事をお読みいただけるとうれしいです。
