PC Watch様から頂いておりますコラム「セミコン業界最前線」を更新しました。
ついに量産適用が始まったEUVリソグラフィ技術。その開発ロードマップを解説しております。
開口数（NA）が0.33の現行技術では、半導体ロジックの3nm世代までが見えています。
言い換えると、3nm世代までの微細化は大丈夫、ということです。
解像度（ハーフピッチ）は、波長とプロセス係数に比例し、投影光学系の開口数に反比例します。
波長（λ）は13.5nmとNAは0.33に固定されているので、解像度の向上手段はプロセス係数（k1）の縮小だけ、となります。
具体的なところは、記事をお読みくださいませ。
