PC Watch様から頂いておりますコラム「セミコン業界最前線」を更新しました。
「3nmロジックの量産を狙うEUVリソグラフィの高NA化技術」
http://pc.watch.impress.co.jp/docs/column/semicon/1052364.html
当初は3500字くらいの記事を想定していたのですが、書き上がったときには6500字を超えていたという（爆）。やり過ぎです。
むちゃくちゃ濃い内容になってしまったので、内容の品質と分量については保証付き。アウトバックの350グラムステーキくらいの感じ（？）でしょうか。最後まで完食していただくと「3nm以降はどうなるのだろうか」という疑問にお応えする、ささやかなデザートが付いてきます（苦笑）。
EUVリソグラフィの出張報告3部作はこれで一応、完結です。出張前は果たして記事になるのか、とても心配でした。ところが膨大な素材を仕入れることができて、3本の出力が取りあえず果たせるという。望外の成果に、本当に感謝しております。
