EETimes Japan誌の連載コラム「デバイス通信」を更新しました。
「デバイス通信（87）：「SEMICON West 2016」、7nm世代以降のリソグラフィ技術（東京エレクトロン編）」
http://eetimes.jp/ee/articles/1609/09/news041.html
SEMICON Westで東京エレクトロン（TEL）のエンジニアが講演した内容を一部、まとめてご紹介しております。7nm世代と5nm世代がテーマです。いくつかのリソグラフィ技術を相補的に組み合わせるという展望を講演では述べていました。
