EETimes Japan様から頂いております。「デバイス通信」を更新しました。
「デバイス通信(86):「SEMICON West 2016」、7nm世代以降のリソグラフィ技術(ニコン編)」
http://eetimes.jp/ee/articles/1609/06/news022.html
まだ続きます、SEMICON Westの講演報告。7nm以降のリソグラフィ技術をリーディングカンパニー各社はどのように見ているのか。今回はニコンの講演からです。
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http://eetimes.jp/ee/articles/1609/06/news022.html
まだ続きます、SEMICON Westの講演報告。7nm以降のリソグラフィ技術をリーディングカンパニー各社はどのように見ているのか。今回はニコンの講演からです。