Electronics Pick-up by Akira Fukuda

日本で2番目に(?)半導体技術に詳しいライターのブログ

コラム「デバイス通信」を更新。7nm世代以降のリソグラフィ技術(Applied Materials編)

EETimes Japan誌に掲載していただいておりますコラム「デバイス通信」を更新しました。


「デバイス通信(92):「SEMICON West 2016」、7nm世代以降のリソグラフィ技術(Applied Materials編)」
http://eetimes.jp/ee/articles/1610/07/news021.html


内容は10nm世代から5nm世代までのトランジスタ技術で、リソグラフィ技術ではありませんでした。あちゃー。

肝心のトランジスタ技術ですが、FinFETで行けるのは、ぎりぎりで7nm世代になりそうです。5nm世代以降はいろいろとトリッキーなことになりそうで、量産可能かどうかはまだ分かりません。