Electronics Pick-up by Akira Fukuda

日本で2番目に(?)半導体技術に詳しいライターのブログ

コラム「デバイス通信」を更新。7nm世代以降のリソグラフィ技術(imec編)


EETimes Japanで連載しておりますコラム「デバイス通信」を更新しました。


「デバイス通信(90):「SEMICON West 2016」、7nm世代以降のリソグラフィ技術(imec編)」
http://eetimes.jp/ee/articles/1609/27/news037.html


7nm世代以降のリソグラフィ技術をimecが展望しています。Si FETが限界に達し、Si以外の半導体材料によるFETが限界に達し、MOS FET以外の原理によるトランジスタ(能動デバイス)が限界に達するまでにはまだしばらくかかりそうです。