Electronics Pick-up by Akira Fukuda

日本で2番目に(?)半導体技術に詳しいライターのブログ

セミコンウエストのレポート記事、ニコンの後編を掲載

半導体製造装置・材料の展示会兼講演会「セミコンウエスト(SEMICON West)」のレポート記事です。ニコンが10nm以下のリソグラフィ技術を展望した講演をご紹介しています。


今回は後編です。ArF液浸リソグラフィとEUVリソグラフィのコスト比較をしています。



「SEMICON West 2015リポート(3):ニコンが展望する10nm以下のリソグラフィ技術(後編)」http://eetimes.jp/ee/articles/1508/13/news024.html


お手すきの時にでも、眺めていただけるとうれしいです。


【追記】週間PVランキングで8位になりました。
http://eetimes.jp/ee/articles/1508/22/news012.html
これも皆さまのおかげです。ありがとうございます。