2015-08-13から1日間の記事一覧
半導体製造装置・材料の展示会兼講演会「セミコンウエスト(SEMICON West)」のレポート記事です。ニコンが10nm以下のリソグラフィ技術を展望した講演をご紹介しています。 今回は後編です。ArF液浸リソグラフィとEUVリソグラフィのコスト比較をしています。…
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半導体製造装置・材料の展示会兼講演会「セミコンウエスト(SEMICON West)」のレポート記事です。ニコンが10nm以下のリソグラフィ技術を展望した講演をご紹介しています。 今回は後編です。ArF液浸リソグラフィとEUVリソグラフィのコスト比較をしています。…