Electronics Pick-up by Akira Fukuda

日本で2番目に(?)半導体技術に詳しいライターのブログ

2015-08-13から1日間の記事一覧

セミコンウエストのレポート記事、ニコンの後編を掲載

半導体製造装置・材料の展示会兼講演会「セミコンウエスト(SEMICON West)」のレポート記事です。ニコンが10nm以下のリソグラフィ技術を展望した講演をご紹介しています。 今回は後編です。ArF液浸リソグラフィとEUVリソグラフィのコスト比較をしています。…