IMW 2011レポートの第2弾をPCWatch様に掲載していただきました。
「NANDフラッシュメモリの過去、現在、未来」
http://pc.watch.impress.co.jp/docs/news/event/20110531_449473.html
招待講演でSanDisk創業者のEli Harari氏が半生を振り返ってくださったので、その概要をご紹介しています。紫外線消去型EPROMから連なるフラッシュメモリの歴史を概観できます。後半にはIMWのパネル・ディスカッションでメモリ技術の将来動向を議論したので、そこからNANDフラッシュメモリの部分を抜き出してご報告しています。
私も記事でフローティングゲート型NANDフラッシュメモリは2Xnmで限界とか書いたりしたのですが、結局、2Xnmでは限界に達しませんでした。ごめんなさい。間違ってました。それどころか、ArF液浸でトリプルパターニングとか、ダブルパターニング×2回とかやると1Xnmも加工はやれそうです。もちろんコストアップにはなりますが、インフラストラクチャがまったく新しくなるEUVに比べるとコストは低くてすみそうです。EUVの出番はさらに遠のきました。
実は、紫外線消去型EPROMの窓付きセラミックパッケージの写真を探したのですが、見つかりませんでした。時間切れで出稿しています。残念です。どなたか、プレスキットなどで画像のありかを教えていただければ、うれしく存じます。
なお写真は最終日の夜に某社の方とディナーをご一緒したときの食事です。シーザースサラダとイカフライとエビです。量が多くて大変でしたが、美味しかったW
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