Electronics Pick-up by Akira Fukuda

日本で2番目に(?)半導体技術に詳しいライターのブログ

復活した工業調査会の書籍(その2)「はじめての半導体リソグラフィ技術」

前回のエントリーはこちらです。
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今回ご紹介するのは「はじめての半導体リソグラフィ技術」です。

はじめての半導体リソグラフィ技術 (ビギナーズブックス)

はじめての半導体リソグラフィ技術 (ビギナーズブックス)

はじめての半導体リソグラフィ技術 (ビギナーズブックス)


工業調査会版は古書扱いになっています。この本も記事執筆の参考にしばらく前に購入しました。リソグラフィの基本がしっかりと記述されており、すごく役立ちました。光リソグラフィ、電子線リソグラフィ、EUVリソグラフィ、レジスト、マスクなどの要素技術が分かります。液浸リソグラフィも取り上げています。著者が複数名に分かれている書籍は内容の重複があったり、用語の統一がとれていなかったりとダメダメなことが多いのですが、この本はそういったことが気にならない、珍しい例でした。


再出版は技術評論社が担当しました。

はじめての半導体リソグラフィ技術 (現場の即戦力)

はじめての半導体リソグラフィ技術 (現場の即戦力)

はじめての半導体リソグラフィ技術 (現場の即戦力)


2011年12月8日発行。最近になって出たばかりですね。アップデートがあるとうれしいですが、そこのところは分かりません(書店でまだ見ていないので。すみません)。でもアップデートがなくても、基本技術の勉強と復習には役立ちます。良書です。