前回のエントリーはこちらです。
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今回ご紹介するのは「はじめての半導体リソグラフィ技術」です。
- 作者: 岡崎信次,上野巧,鈴木章義
- 出版社/メーカー: 工業調査会
- 発売日: 2003/06
- メディア: 単行本
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工業調査会版は古書扱いになっています。この本も記事執筆の参考にしばらく前に購入しました。リソグラフィの基本がしっかりと記述されており、すごく役立ちました。光リソグラフィ、電子線リソグラフィ、EUVリソグラフィ、レジスト、マスクなどの要素技術が分かります。液浸リソグラフィも取り上げています。著者が複数名に分かれている書籍は内容の重複があったり、用語の統一がとれていなかったりとダメダメなことが多いのですが、この本はそういったことが気にならない、珍しい例でした。
再出版は技術評論社が担当しました。
- 作者: 岡崎信次,鈴木章義,上野巧
- 出版社/メーカー: 技術評論社
- 発売日: 2011/12/08
- メディア: 単行本(ソフトカバー)
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2011年12月8日発行。最近になって出たばかりですね。アップデートがあるとうれしいですが、そこのところは分かりません(書店でまだ見ていないので。すみません)。でもアップデートがなくても、基本技術の勉強と復習には役立ちます。良書です。