「液体をちょっとたらすだけで魔法のようにNAが大きくなる」（ニコンの某エンジニア）。 ニコンがArF液浸リソグラフィ技術によるステッパーを開発しました。300mmウエハーを130枚/時で処理する量産機です。65nm世代の半導体量産の本命技術と言われているAr液…