半導体の製造技術（プロセス技術）を一通り解説した書籍です。
工業調査会版は古書扱いになっています。
- 作者: 前田和夫
- 出版社/メーカー: 工業調査会
- 発売日: 2000/12
- メディア: 単行本
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2000年の発行なので基礎を勉強するにはよいかと思います。
著者の前田和夫氏は「はじめての半導体製造装置」なども記しています。
再出版は技術評論社が担当しました。
- 作者: 前田和夫
- 出版社/メーカー: 技術評論社
- 発売日: 2011/07/23
- メディア: 単行本（ソフトカバー）
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著者の前田氏がご逝去されているため、再出版した本は元の本と同じ内容である（技術がアップデートされていない）可能性があります。
【追記】書店で実物を確認した範囲では、元の本と同じ内容でした。
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