PC Watch様から頂いておりますコラム「セミコン業界最前線」を更新しました。
国際メモリワークショップ(IMW)から、高耐熱PCM(相変化メモリ)技術に関する研究成果の解説です。
昨年12月に国際学会IEDMでSTMicroelectronicsが、高耐熱の埋め込みPCM技術を開発して自動車用マイコンを試作したとの衝撃の発表をしました。このときにはPCM技術の詳細は不明でした。
そして今回、STMicroelectronicsが、PCM技術は標準組成のGST-225から、Geの組成を増やして結晶化温度を上げたGST(GeSbTe)「GeリッチGST」を記憶素子に使っていることを明らかにしました。またCEA Letiが「GeリッチGST」を採用した4KbitのPCMセルアレイを試作し、記憶素子構造の工夫によって250℃という高い温度で放置してもデータが劣化しないことを示しています。
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