「両極端に分かれたIBMとTSMCの次々世代半導体製造技術」
http://pc.watch.impress.co.jp/docs/column/semicon/1034186.html
IEDM 2016でTSMCとIBMグループがそれぞれ、7nmのCMOSロジック製造技術を発表しました。詳細はレポート記事を見ていただくとして、学会論文としての完成度はIBMグループがはるかに上です。TSMCの論文は、重要ないくつかの数値が明記されていません。
それはともかく、一気に7nm世代まできてしまいました。今年に入ってからの微細化ペースの進み方は凄いです。14nm/16nm世代で一服していたのが嘘のようです。